中华人民共和国国家标准多晶硅工厂设计规范GB51034-2014：GB 51034-2014

图书信息

作者：中华人民共和国住房和城乡建设部,中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局联合发布著

出版社：中国计划出版社

定价：24.00

ISBN：9158024253504

出版时间：2015-03-01

分类：图书,行业职业,工业技术,计量标准

商品介绍

目录

1总则

2术语

3基本规定

4厂址选择及厂区规划

5工艺设计

6电气及自动化

7辅助设施

8建筑结构

9给水、排水和消防

10采暖、通风与空气调节

11环境保护、安全和卫生

12节能、余热回收

附录A地下管线与建（构）筑物之间的最小水平净距

附录B地下管线之间的最小水平净距

附录C主要房间空气洁净度、温度、湿度

本规范用词说明

引用标准名录

附：条文说明

内容简介

本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建、扩建和改建多晶硅工厂的工程设计，也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成、四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计。