实用真空检漏技术

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作者：曹慎诚 编著，化学工业 | 分类：科学技术,工业技术,一般工业技术

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作者简介 暂缺《实用真空检漏技术》作者简介

内容简介

内容简介 　　《实用真空检漏技术》是作者在几十年的真空检漏技术工程经验以及培训教学基础上，结合近几年出现的新技术、新成果综合编写成的。内容丰富、技术先进。《实用真空检漏技术》共分7章，其中包括：检漏的一般概念、检漏的真空基础、常用的检漏方法、标准漏孔及其校准等。重点介绍了氦质谱检漏仪法和四极质谱计检漏法，并给出了应用实例。《实用真空检漏技术》主要为广大真空检漏技术人员提供服务，亦可作为真空检漏培训班教材使用，并为大专院校师生提供重要参考。

目录

图书目录
第1章 检漏的一般概念1.1 检漏技术的地位和应用1.2 检漏技术的主要术语1.3 压力与漏率关系1.3.1 动态真空1.3.2 静态真空1.4 检漏的任务1.4.1 真空抽不好的原因1.4.2 不能保持压力的原因1.4.3 检漏的任务1.5 漏孔及其表示1.5.1 焊缝及原材料的缺欠1.5.2 常见漏孔的形式1.5.3 漏孔出现位置及产生原因1.5.4 漏孔大小的表示方法1.5.5 影响漏孔漏率的因素1.5.6 漏率的单位1.5.7 漏孔对真空的影响1.6 装置漏气的判定1.6.1 真空装置漏气的判定1.6.2 加压装置漏气的判定1.6.3 检漏仪及其他方法1.7 装置容许最大漏率估算1.7.1 动态真空装置容许最大漏率1.7.2 静态真空装置容许最大漏率1.7.3 加压装置容许最大漏率1.7.4 实际存在漏孔漏率分布1.8 灵敏度与最小可检漏率1.8.1 灵敏度1.8.2 最小可检漏率1.8.3 有效最小可检漏率1.9 对检漏的一般要求1.10 检漏方法的分类1.10.1 加压检漏法1.10.2 抽真空检漏法1.10.3 其他方法1.11 检漏方法、仪器和示漏物质选择原则1.12 国产氦质谱检漏仪现状第2章 检漏的真空基础2.1 真空概念和测量单位2.1.1 真空概念2.1.2 真空度2.1.3 真空区域划分2.2 理想气体基本定律及状态方程2.2.1 理想气体2.2.2 波义耳定律2.2.3 盖•吕萨克定律2.2.4 查理定律2.2.5 阿伏伽德罗定律2.2.6 理想气体状态方程2.2.7 道尔顿定律（分压力定律）2.3 气体分子的平均自由程2.3.1 平均自由程2.3.2 单一气体分子的平均自由程2.4 气体流量和管道流导2.4.1 气体量2.4.2 流量2.4.3 流导2.4.4 管道串联的流导2.4.5 管道并联的流导2.5 气体的流动状态2.5.1 真空管道中的气体流动2.5.2 漏孔中的气体流动2.6 真空泵2.6.1 油封式旋转机械真空泵2.6.2 油扩散泵2.6.3 涡轮分子泵2.7 真空计2.7.1 静态变形真空计2.7.2 电阻真空计2.7.3 热偶真空计2.7.4 热阴极电离真空计2.7.5 冷阴极磁控放电真空计（潘宁真空计）2.7.6 分压力真空计第3章 常用的检漏方法3.1 静态升压法3.2 静态降压法3.3 气泡检漏法3.3.1 气泡检漏法的原理3.3.2 产生气泡的条件3.3.3 产生压差的方法3.3.4 打气试漏法及注意事项3.4 高频火花检漏法3.4.1 火花法3.4.2 放电法3.5 卤素检漏法3.5.1 卤素检漏法原理及仪器结构3.5.2 卤素检漏法注意事项3.6 质谱仪检漏法3.7 其他检漏方法3.7.1 真空规法3.7.2 离子泵检漏法3.7.3 声波检漏法3.7.4 氨检漏法3.7.5 放射性同位素法3.7.6 着色渗透法3.7.7 荧光渗透法3.7.8 正压漏率计算法第4章 标准漏孔及其校准4.1 真空标准漏孔4.1.1 概述4.1.2 真空标准漏孔的种类4.1.3 真空标准漏孔的比较4.2 正压标准漏孔4.3 标准漏孔的校准及使用注意事项第5章 氦质谱检漏仪法5.1 氦质谱检漏仪工作原理5.2 仪器结构5.2.1 质谱室5.2.2 真空系统5.2.3 电气部分5.2.4 普通型氦质谱检漏仪（ZJS-23B）与逆扩散型氦质谱检漏仪（ZQJ-230D）的比较5.3 示漏气体选择5.4 最小可检漏率与校准5.4.1 检漏仪的最小可检漏率5.4.2 有效最小可检漏率5.4.3 检漏仪的最小可检漏率校准方法5.4.4 有效最小可检漏率的校准方法5.4.5 注意事项5.5 反应时间与清除时间及其校准5.6 氦质谱检漏仪的选择5.7 氦质谱检漏技术5.7.1 氦质谱检漏方法5.7.2 实际漏孔漏率5.7.3 大容器检漏第6章 四极质谱计检漏法6.1 四极质谱计的结构6.2 四极质谱计的工作原理6.3 四极质谱计的工作模式6.3.1 模拟峰质量扫描6.3.2 棒峰质量扫描6.4 四极质谱计的性能指标6.4.1 质量范围6.4.2 分辨本领R6.4.3 灵敏度S6.4.4 最小可检分压力pmin6.4.5 最高工作压力pmax6.4.6 最小可检浓度6.5 四极质谱计检漏方法6.5.1 残气分析法6.5.2 单一示漏气体检漏法6.5.3 多种示漏气体检漏法6.6 应用举例6.7 质谱图的识别第7章 检漏实践和检漏安全7.1 检漏实践7.1.1 检漏实践的原则——在真空工作的各个阶段都要考虑检漏工作7.1.2 检漏工作人员与检漏试验室（车间）7.1.3 如何进行检漏7.2 检漏安全7.2.1 安全事项7.2.2 安全防护7.2.3 压力防护7.2.4 安全装置7.2.5 示漏气体的危害与安全性7.2.6 监测设备的类型7.2.7 安全规则参考文献编后语