芯片制造——半导体真空技术与设备

图书信息

作者：陈译,陈铖颖,张宏怡编著编 | 出版社：机械工业出版社 | 定价：79.00 | 文轩价：48.25 | ISBN：9787111798132 | 出版时间：2026-01-01 | 分类：图书,行业职业,工业技术,电子、电工

商品介绍

目录

前言

第1章半导体制造设备和真空技术

1.1真空技术的战略地位2

1.2真空设备的系统3

1.2.1半导体真空设备的基本构造3

1.2.2工艺腔室的周边辅助设备6

1.3真空技术对半导体制造的重要性7

1.4半导体中的真空应用实例9

1.4.1刻蚀9

1.4.2CVD10

1.4.3PVD11

1.4.4热处理工艺设备12

1.4.5离子注入工艺13

第2章真空的理论和计算

2.1从托里拆利的实验开始16

2.2真空的单位——帕（Pa）、托（Torr）、毫巴（mbar）16

2.3真空理论的初步研究17

2.3.1真空度的概念17

2.3.2平均自由程19

2.3.3黏性流、中间流、分子流20

2.3.4PD值22

2.3.5气体流动与设备设计23

2.3.6湍流24

2.4真空计算——P（压力）、S（导通率）、Q（流量）26

2.4.1真空计算的基础26

2.4.2压力P26

2.4.3导通率S26

2.4.4流量Q27

2.5真空计算实例28

2.5.1腔室压力的计算28

2.5.2有效导通率29

2.5.3导通率与阻力30

2.5.4排气能力31

2.5.5腔室容积33

2.5.6泄漏量34

2.5.7总导通率34

第3章真空泵及其使用方法

3.1什么是真空泵37

3.2各种泵的原理和结构38

3.2.1油旋转泵38

3.2.2机械增压泵40

3.2.3湿式泵与干式泵43

3.2.4涡轮分子泵45

3.3低温泵48

3.3.1低温泵的结构及工作原理49

3.3.2低温泵的使用方法52

3.3.3补充内容54

3.4扩散泵56

3.5真空计算实例57

3.6背压泵59

第4章真空计及其使用方法

4.1关于真空计61

4.2各种真空计的原理和结构62

4.2.1U形管真空计62

4.2.2气体减压阀63

4.3热传导真空计64

4.3.1热电偶真空计64

4.3.2皮拉尼真空计65

4.4电容式真空计67

4.5复合真空计67

4.6离子真空计68

4.7彭宁真空计70

4.8真空计的使用注意事项71

第5章气体系统真空部件及其使用方法

5.1真空密封和O形密封圈74

5.2特氟隆胶带和法兰配管76

5.2.1特氟隆胶带76

5.2.2法兰配管76

5.3运动、传动部件79

5.3.1差动密封79

5.3.2波纹管80

5.3.3磁性密封件81

5.4阀门与压力调节设备82

5.4.1阀门82

5.4.2前级管道阀82

5.4.3气动操作阀83

5.4.4针形阀与止回阀84

5.5质量流量控制器84

5.5.1质量流量控制器的工作原理84

5.5.2转换因子的定义与计算86

5.5.3高分子气体的处理90

5.6配管接头类91

5.6.1Swagelok接头91

5.6.2VCR接头91

5.6.3VCO接头92

5.7过滤器93

5.8贯通接头94

第6章寻找泄漏源头

6.1泄漏检测97

6.2氦气泄漏检测仪的原理与使用方法99

6.2.1氦气泄漏检测仪99

6.2.2泄漏检测的技巧101

6.3其他泄漏检查方法102

第7章真空设备使用时的注意事项

第8章热处理设备和工艺

……

内容简介

真空技术是支撑各行业的基础技术之一，其应用范围非常广泛，从食品工业到航天工业均受益于此，半导体产业也是如此。真空技术是实用学科，需在实践中掌握。尽管其理论体系复杂，本书仍力求在保留理论框架的同时简化表述，并尽量避免公式堆砌，以逻辑化、历史化的方式解读半导体真空技术。虽因篇幅有所取舍，但希望能助力更多工程师学以致用。本书旨在搭建一座学习的桥梁，通过“理论-案例-实践”的完整链条降低学习门槛，并填补半导体专用真空技术领域相关图书的空白。

本书面向半导体生产线的设备工程师和工艺工程师，以及高等院校半导体与集成电路相关专业的高年级本科生和研究生，同时也适合资深从业者重温真空技术，对半导体设备供应商及其他产业链相关企业也有参考价值。

作者简介

陈译，男，厦门理工学院教授，获得日本国立琉球大学电气电子工学专业博士学位，厦门市双百人才，于2010年4月进入日本三垦电气株式会社，从事功率半导体器件（IGBT、MOSFET、SiC SBD、SiC MOSFET）的研发与产业化，经历了先进功率半导体产业和技术发展的重要过程，参与或领导团队研发了30个品种以上的功率器件并实现产业化。其主持研制的IGBT、MOSFET芯片已卖出数百万片（其中IGBT芯片主要供货给格力电器），总产值超过20亿日元。截止目前，拥有授权和受理发明专利50余项，实用新型专利10余项，发表科研论文15篇。

主编推荐

真空技术是半导体行业中一项重要的基础技术，其应用范围非常广泛。目前市面上专门讲述半导体行业中真空技术的图书非常少，现有书籍中关于真空技术的介绍，要么内容过于笼统，要么过于理论化，导致很多工程师难以学习和应用。本书避免复杂的数学公式，用简明的语言讲解核心概念，既有基础理论，又有实际案例分析——既能帮助设备工程师了解工艺，也能帮助工艺工程师了解设备。工程师通过学习本书，能够更高效地解决生产中的问题，减少试错时间；企业则可通过培养具备综合能力的工程师，提高生产效率和产品质量。