紫外固体激光微细加工技术

图书信息

作者：齐立涛著

出版社：哈尔滨工业大学出版社

定价：98.00

ISBN：9787560392417

出版时间：2020-12-01

分类：图书,行业职业,工业技术,机械工程

商品介绍

目录

第1章 绪论

1.1 激光加工技术的发展

1.2 激光加工用激光器

1.3 激光微细加工技术

1.4 激光微细加工技术的分类及特点

1.5 本书主要内容

第2章 紫外固体激光器

2.1 激光器的基本组成

2.2 激光器的分类

2.3 紫外激光器的发展历程

2.4 紫外气体激光器

2.5 紫外固体激光器

2.6 展望

第3章 紫外固体激光微细加工系统及检测方法

3.1 紫外固体激光微细加工系统

3.2 激光束调整、传输和控制用光学元器件

3.3 光束形状变换光学系统

3.4 振镜光学扫描系统

3.5 空间光调制器

3.6 光束特性和过程监测用光学系统

……

内容简介

本书主要介绍了紫外固体激光微细加工技术的理论、方法及应用。内容包括了紫外固体激光器、紫光激光微细加工系统及检测方法、紫外激光微细加工技术的应用、激光微细加工的波长优化、紫外固体激光微细加工单晶硅和碳化硅、激光加工安全防护及标准等。

本书可供激光微细加工领域的工程技术人员、科研人员阅读，也可作为相关专业在校师生的参考书。